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旋片真空泵的缺點(diǎn)

旋片式真空泵旋片式真空泵有什么用途?

旋片真空泵用于在粗糙真空范圍內(nèi)將空氣(或氣體)從真空室或真空系統(tǒng)中排出。“粗真空”被稱為系統(tǒng),其jue對(duì)氣壓在760托(環(huán)境)和大約1托之間。在粗糙真空范圍內(nèi),有許多高真空泵(例如渦輪分子真空泵)無(wú)法運(yùn)行,并且會(huì)受到損壞。因此,旋片真空泵被多次稱為粗加工泵。粗加工泵是用于將真空室或系統(tǒng)的jue對(duì)壓力從大氣壓降低到0.001托或1微米的泵。此時(shí),輔助真空泵(例如渦輪泵)將打開并接管抽真空,以使真空室或系統(tǒng)達(dá)到更高的真空度(例如10-5托)。

真空泵油污染的風(fēng)險(xiǎn)

**個(gè)缺點(diǎn)是存在低蒸氣壓油。旋片真空泵在沒有機(jī)油的情況下無(wú)法運(yùn)行,這意味著必須經(jīng)常觀察,補(bǔ)充和更換機(jī)油。這也使真空泵有被高蒸氣壓氣體污染的風(fēng)險(xiǎn),這繼而降低了真空泵的性能并損壞了其部件。

減輕污染物進(jìn)入真空泵腔室的一種方法是在真空泵進(jìn)氣之前安裝過濾器和疏水閥。這樣可以zui大程度地減少真空泵油的污染。

油霧排氣

此外,從其排氣到周圍環(huán)境中的旋片真空泵發(fā)出油和水霧。一段時(shí)間后,單個(gè)旋片真空泵會(huì)在密閉的房間內(nèi)冒煙,危害健康。這使旋片真空泵失去了在潔凈室,封閉環(huán)境或室內(nèi)環(huán)境中使用的資格。

可以通過在真空泵排氣裝置上安裝除油器或排氣過濾器來(lái)zui大程度地減少油霧的排放。這個(gè)簡(jiǎn)單的步驟可以減少99.95%的排放。

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